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IQnano3D 紹介資料

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IQnano3D|二光子重合3Dナノプリンター
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IQnano3D|二光子重合3Dナノプリンター

二光子重合で150 nm級の3D微細構造を高速造形

IQnano3Dは、二光子重合(Two-Photon Polymerization:2PP)方式を採用した3Dナノプリンターです。集光したフェムト秒レーザーの焦点でのみ樹脂を硬化させることで、150 nm級の微細な立体構造を一体で造形できます。株式会社SIJテクノロジが、チェコ IQS nano社製の本装置を、日本総代理店として提供しています。

従来手法では難しかった複雑な微細3D構造を、用途に応じた材料で高速に造形し、研究開発から試作までを支えます。

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INDEX

  • 01IQnano3Dが選ばれる理由
  • 02二光子重合技術と装置仕様
  • 03対応材料(ResIQ樹脂シリーズ)
  • 04ソフトウェアと操作性
  • 05用途例
  • 06導入・試作の進め方
  • 07SIJテクノロジについて
01

IQnano3Dが選ばれる理由

ナノスケールの真の3D造形

IQnano3Dは、150 nm級の高い解像度で、微細な立体構造を一体成形できる3Dナノプリンターです。焦点位置でのみ硬化する二光子重合の特性を活かし、平面的な積み上げにとどまらない自由曲面やオーバーハング(張り出した形状)を含む複雑な3次元構造を、そのままの形で造形できます。

幅と高さの比を表すアスペクト比は最大1:10まで対応し、細く高い構造も安定して形づくれます。フォトリソグラフィなどの従来手法では実現が難しかった微細で複雑な形状を、後加工に頼らず一体で造形できる点が特長です。

Sijtechnology Iqnano3d Img01

試作を速く回せる造形スピード

IQnano3Dは、最大3.3メガボクセル毎秒の造形速度に対応しています。ボクセル(3D造形における最小単位。立体版の画素にあたるもの)を高速に描画できるため、微細で複雑な構造でも造形にかかる時間を抑えられます。

造形が速いほど、設計の変更や条件出しを何度も繰り返す試作のサイクルを短くできます。開発の初期段階で構造を素早く形にして評価したいお客様にとって、造形スピードは大きなメリットになります。

Sijtechnology Iqnano3d Img02

材料を選べる自由度

IQnano3Dは、二光子重合向けに開発された独自のResIQ樹脂シリーズ9種をラインアップしております。低コストで試作したい場合から、高強度・耐薬品性が求められる機能部品、生体適合が必要なバイオ用途、光学グレードの透明部品まで、目的に合わせて材料を選べます。

Sijtechnology Iqnano3d Img03

デバイス上への直接造形

IQnano3Dは、平らな基板だけでなく、既存のデバイスや部品の上に直接構造を造形できます。光ファイバの端面、CMOS(イメージセンサーなどに使われる半導体)チップ、マイクロ流体チップの内部などに、光学要素や機械要素を直接つくり込めます。この既存部品の上に直接造形する手法を、Mix & Matchと呼びます。

別々につくった部品を後から精密に位置合わせして組み立てる工程を省けるため、微細な部品ほど難しくなる組み立ての手間を減らせます。

Sijtechnology Iqnano3d Img04

国内での試作・評価に対応する体制

株式会社SIJテクノロジは、IQnano3Dの日本総代理店として、国内で装置を用いた試作・評価に対応できる体制を整えています。海外製の装置であっても、国内でサンプル造形や評価のご相談ができます。

導入をご検討いただく段階で、実際の造形結果をご確認いただきやすい点は、お客様にとっての利便性につながります。

02

二光子重合技術と装置仕様

二光子重合(2PP)の仕組み

二光子重合(2PP)は、IQnano3Dの中核となる造形技術です。集光したフェムト秒レーザー(極めて短い時間だけ発光するパルスレーザー)のスポット内で二光子が非線形に吸収され、その焦点体積のごく狭い範囲でのみ重合反応が起こります。

この原理により、感光性樹脂の内部でも狙った微小空間だけを硬化でき、サブミクロンのボクセル、シャープな輪郭、真の3D構造を形づくれます。造形は下から積み上げるボトムアップ方式で行われます。

Sijtechnology Iqnano3d Img05

NanoSweepによる高速・高精度ビーム制御

NanoSweep(ナノスイープ)は、IQS nano社が特許を取得しているビーム制御技術です。オーバーシュートのないAOD(音響光学偏向。音波を使ってレーザー光の向きを高速に変える方式)と、高精度なステージ駆動を組み合わせています。

レーザービームは音波によって高速に偏向され、各層をブラシでなぞるように高速で走査します。走査するストローク幅は造形内容に応じて動的に調整され、ナノスケールの精度を保ちながら高速に書き込みます。さらに、層をつなぐ継ぎ目の位置をランダム化することで、造形した構造体の強度を高めています。この高速なビーム制御が、造形スピードを支える技術的な裏付けとなっています。

グリーンレーザーがもたらす精度とバイオ適性

IQnano3Dは、波長520 nm±5 nmのグリーン・フェムト秒レーザーを搭載しています。グリーンレーザーを用いることで高い造形精度が得られ、微細なディテールを必要とする用途に有効です。

また、自己蛍光(材料自体がわずかに発する光)の少ない樹脂を使用できるため、蛍光観察を伴う生物学研究や細胞を用いた用途にも適しています。

対物レンズによる解像度の使い分け

IQnano3Dは、対物レンズを交換することで造形の解像度と範囲を使い分けられます。倍率の高いレンズほど微細な造形に向き、倍率の低いレンズほど一度に造形できる範囲が広くなります。用途に応じて、微細さと造形範囲のバランスを選べます。

レンズ倍率 60倍 20倍 10倍 100倍 30倍 5倍
書き込み可能範囲 35×35
µm
110×110
µm
220×220
µm
20×20
µm
70×70
µm
430×430
µm
区分 標準搭載 標準搭載 標準搭載 オプション オプション オプション

主要仕様

IQnano3Dの主な仕様は以下の通りです。

造形方式 二光子重合(2PP)/ボトムアップ積層
造形エリア 最大 50×50 mm
造形高さ 最大 20 mm(乾式対物レンズ使用時)
最小解像度 横方向 110 nm/縦方向 250 nm
(いずれも到達可能な下限値。対物レンズ・造形条件により異なります)
最大アスペクト比 1:10
レーザー フェムト秒レーザー/波長 520 nm±5 nm/最大平均出力 500 mW超
スキャナ AOD(音響光学偏向)/スキャナ解像度 5 nm以上(60倍レンズ時)/速度 最大 3.3メガボクセル毎秒
造形モード NanoSweep/スキャナ/ベクター
最大サンプルサイズ 150×150 mm(6インチ)
最大サンプル厚 標準基板 最大20 mm/特殊ホルダー使用時 最大50 mm
対応基板 ガラス(顕微鏡用スライド含む)、石英、シリコン、サファイア、金属 等/デバイス・部品上への造形も可
造形材料 ResIQ樹脂
装置形態・寸法 床置き型/95×71×175 cm
03

対応材料(ResIQ樹脂シリーズ)

用途に合わせて選べる9種の樹脂

ResIQ樹脂シリーズは、二光子重合向けに開発された9種類の光硬化性樹脂で構成されています。低コストの試作用から、高強度の機能部品、生体適合が求められるバイオ用途、光学グレードの透明部品まで、用途に合わせて選択できます。

Basic One 低コストのラピッドプロトタイピング向け、高いマイクロスケール分解能、半導体基板(シリコン・ガラス)への良好な密着
Hybrid One 無機–有機マトリックス構造による高い機械強度・耐薬品性、低収縮、270℃までの高い熱安定性
Bio One ISO 10993に基づく生体適合(非細胞毒性、MTT試験で生存率90%超)、低自己蛍光、UV/オートクレーブ/エタノール滅菌に対応、200℃までの高い熱安定性
BioFlex 柔軟性を持ち、細胞の直接接着・増殖を支持、非細胞毒性
OptoBase 手頃な価格の光学用樹脂、400〜1600 nmの波長域で高い透明性
OptoPure フォトニクス・光学向け、350〜1600 nmで高い透明性・高純度、低散乱・低吸収、200℃までの化学的・熱的安定性
PETA 高反応性のアクリレート樹脂により、迅速な架橋反応と高分解能、効率的な二光子重合プロセスを実現
PETA+ 長時間の高解像度造形に対応する安定性の向上、PDMSとの高い適合性
LumiBlue 構造体の蛍光標識・顕微観察に適した蛍光樹脂
04

ソフトウェアと操作性

IQData|造形データの作成

IQData(アイキューデータ)は、造形データを作成するためのソフトウェアです。CADデータを造形用に処理するスライサー機能、複数のサブジョブをまとめて管理するプロジェクトビルダーを備えています。

STLファイルの入力に対応し、大型のオブジェクトを扱う際にはサブフィールド分割ツールで領域を分けて造形できます。さらに、C++やPythonによるスクリプト制御にも対応しているため、条件を細かく調整した造形にも活用できます。

Sijtechnology Iqnano3d Img06

IQWrite|造形プロセスの制御

IQWrite(アイキューライト)は、造形プロセスを制御するためのソフトウェアです。基板表面を光学的に検出するオートフォーカス、ナノメートル精度のステージ移動、Z軸調整など、装置全体のセットアップと造形の実行を管理します。

造形の様子は、ライブカメラの映像や対物レンズを通して監視できます。対物レンズはワンクリックで自動キャリブレーションが実行されるため、交換しながらの造形もスムーズに進められます。

Sijtechnology Iqnano3d Img07
05

用途例

バイオメディカル・組織工学

Sijtechnology Iqnano3d Img08

生体適合性のある樹脂と微細な3D構造を組み合わせることで、医療・バイオ分野の用途に対応します。細胞の足場から体内で使う微小構造まで、内部構造を含めて一体で造形できます。

細胞足場
(スキャフォールド)
細胞が接着・増殖する環境を制御する足場を、高い均一性で造形。
解像度:0.25×0.25×2 µm
造形時間:4分30秒
マイクロインプラント・ステント 内部構造まで精密に設計した3次元構造体を一体で造形。
眼圧を下げるためのステントなどに応用。
解像度:0.2×0.2×0.25 µm
造形時間:1時間(1個あたり)
ドラッグデリバリー
(マイクロニードル)
無痛での薬剤注入・サンプル採取・センサー統合などに対応。
内部チャネルやリザーバー、フィルターも造形可能。
解像度:0.25×0.25×1 µm
造形時間:41分

光学素子・メタレンズ・光学MEMS

高解像度の3D微細構造で光を精密に制御する用途に対応します。メタレンズ(平面状の微細構造で光を制御する光学素子)は、スケーラブルかつ高解像度の3D構造により高度な光制御を可能にします。

光学・機械・エレクトロニクスを統合した光学MEMS(MEMS:Micro Electro Mechanical Systems。微小な電気機械システム)も造形でき、次世代の光学システム向けの微小素子を実現します。メタレンズの造形例では解像度0.25×0.25×0.25 µm、造形時間43分での造形実績があります。

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光ファイバ端面への直接造形

光ファイバのコネクタ端面に、機能構造を直接造形できます。フォトニクスやバイオメディカル分野に向けて、光の制御などの機能を持たせた光学ツールを実現します。微細構造を持つファイバチップの造形例では、解像度0.25×0.25×2 µm、造形時間15分での造形実績があります。

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マイクロ流体デバイス

マイクロ流体(微小な流路で微量の液体を精密に扱う技術)チップの内部に、3D構造を直接造形できます。複雑な内部構造の深い領域にも、細胞の足場やフィルターなどの機能構造を高精度に形成できます。

埋め込み部品を含むチップの製造にも対応し、高度な流体制御を実現します。チップ全体の造形例では、解像度0.3×0.3×2 µm、造形時間2分30秒での造形実績があります。

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精密機械部品・マイクロデバイス

ミクロンからメゾスケールの高精度な機械部品を、ラピッドプロトタイピングで造形できます。設計・造形・評価の試作フローを短いサイクルで回せるため、微小な機械部品の開発を効率的に進められます。微小タービンの造形例では、解像度0.3×0.3×2 µm、造形時間3時間18分(タービン全体)での造形実績があります。

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デバイス/半導体部品上への直接造形

CMOSチップをはじめとする電子・半導体部品の上に、光学要素や機械要素を直接造形できます。部品の上に機能構造を直接つくり込めるため、光学・電子デバイスへの微細構造の付与に活用できます。

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スーパーインクジェットとの組み合わせ

二光子重合で造形した透明なマイクロレンズに、微細な遮光材料を塗布して機能させた技術例(学術論文に基づく)があります。透明なレンズは余分な光がさまざまな方向から入り込むため、そのままでは像を結びにくいという課題があります。微細な遮光材料を塗布することで余分な光の入射を抑え、レンズとして機能させられます。

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06

導入・試作の進め方

IQnano3Dは、お問い合わせから試作・評価、装置導入まで、段階を追って進められます。

 

お問い合わせ・要件のご相談

造形したい構造、使用したい材料、想定する用途などをお伺いします。まずはお問い合わせフォームからご相談ください。実現したい内容に応じて、適した造形条件をご提案します。

 

試作・評価(サンプル造形)

株式会社SIJテクノロジは、国内で装置を用いた試作・評価に対応できる体制を整えています。サンプル造形を通じて、造形結果を実際にご確認いただけます。導入前に、目的の構造が造形できるかを見極めていただけます。

 

装置導入・受託造形

評価の結果をふまえ、装置の導入をご検討いただけます。装置の導入に加え、受託での造形にも対応しています。継続的に造形が必要な場合も、用途に合わせてご相談いただけます。

07

SIJテクノロジについて

事業内容

SIJテクノロジは、国立研究開発法人 産業技術総合研究所(産総研)の技術移転ベンチャーとして設立された企業です。微細な塗布・吐出・造形の技術を軸に、装置の製造販売を手がけています。

コア事業は、当社が独自に展開するスーパーインクジェット技術です。高粘度の液体を、加熱せずに微細に吐出できる技術として、インクジェット・エアロゾルジェット・ディスペンサー・スプレーといった塗布技術とあわせて、お客様のご要望に応じたご提案を行っています。こうした微細加工で培った知見を背景に、二光子重合による3DナノプリンターIQnano3Dを、日本総代理店として取り扱っています。

IQnano3Dについては、国内で試作・評価に対応できる体制を整えており、導入をご検討いただくお客様の技術的なご相談にも対応します。海外製の装置を、国内の窓口を通じて安心してご検討いただけます。

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会社概要

株式会社SIJテクノロジ ロゴ
企業名 株式会社SIJテクノロジ
所在地 〒305-0817
茨城県つくば市研究学園1丁目2番14号
設立年月 2005年4月
URL https://sijtechnology.com/

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二光子重合で150 nm級の3D微細構造を高速造形

IQnano3Dは、二光子重合(Two-Photon Polymerization:2PP)方式を採用した3Dナノプリンターです。集光したフェムト秒レーザーの焦点でのみ樹脂を硬化させることで、150 nm級の微細な立体構造を一体で造形できます。株式会社SIJテクノロジが、チェコ IQS nano社製の本装置を、日本総代理店として提供しています。

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