株式会社栃木屋は、半導体製造装置向け機構部品の企画、設計、開発に注力しています。SEMI規格（セミスタンダード）に適合した取手・ハンドル類をはじめ、クリーンルーム対応の低発塵のヒンジ・マグネットキャッチ、帯電や静電気対策に有効な、導電性を持ったスライドレールや裏蝶番など、装置設計に求められる要件に応える製品をラインアップしています。
カタログ商品は全て改正RoHS指令に対応するなど、環境負荷物質の管理にも注力、大手企業との共同開発実績を持つ機構部品メーカーとして、お客様の製品開発をサポートします。
目次
栃木屋の半導体製造装置部品が選ばれる理由
SEMI規格に適合した製品設計
SEMI規格S8-0218（セクション6.7.1、6.8.1、6.9.1）に適合した寸法で設計した取手・ハンドルを多数取り揃えています。SEMI規格は半導体製造装置の安全に関する事項を定めた国際規格であり、当社が関係する取手・ハンドルについては、開口幅や奥行き、グリップ径などの寸法が細かく規定されています。
当社商品の特長は、4本の指がしっかり入る開口幅と奥行きの確保に加え、グリップの際に持ち手が触れる部分をSEMI規格で規定されているR（アール）形状にし、重量のあるパネルでも無理なく持てるよう設計、作業者の安全性確保に寄与しています。
クリーン環境を意識した低発塵設計
半導体製造装置はクリーン環境で使用されるため、機構部品にも出来るだけ発塵しない仕様が求められます。当社では、こうしたクリーン環境下に向けて「クリーンヒンジ」と「防塵マグネットキャッチ」を展開しています。
通常の蝶番（ヒンジ）は、作動時に金属同士が擦れ微細な粉塵が発生しますが、当社のクリーンヒンジは金属どうしが触れ合わないメタルタッチレス構造を採用。また、防塵マグネットキャッチはマグネット全体を樹脂で覆い、吸着時にマグネットと金属が接触しない構造にすることで、発塵を抑制しています。
特許技術による安定した導電性
時に付加価値として、静電気対策や帯電対策が求められます。
当社の導電性スライドレールと導電性裏蝶番は、SEMI規格で求められる電気抵抗値0.1Ω以下を安定して確保しています。FG線の断線リスク回避に加え、面倒な配線設計や組立て工数の削減にも寄与します。
環境負荷物質の管理
当社のカタログ商品は、全て改正RoHS指令10物質（有害化学物質の使用制限に関する欧州指令）に対応しています。
当社では、商品開発の段階からRoHS指令対応を前提に取り組んでおり、TSCA（米国有害物質規制法）をはじめ、あらたな化学物質管理の要求に対しても積極的にお応えしています。
製品ラインアップ
SEMI規格S8-0218適合の取手・ハンドル
SEMI規格に適合した掘込取手（埋込取手）は、樹脂製とステンレス製の2種類をラインアップしています。樹脂製は装置のパネルにワンタッチで取り付けられる構造、組立工数の削減など総合的なコスト抑制に寄与します。
ステンレス製は薬剤や液体を扱う装置や、耐性が求められる環境に適しています。いずれもパネル内部への干渉を最小化する等、お客様が使いやすい形状や寸法で設計しています。
| 樹脂掘込取手 | 取付：ワンタッチ 特長：軽量＆低コスト、容易な取付け、特注色対応が可能 |
|---|---|
| ステンレス掘込取手 | 取付：ネジ止めorナット止め 特長：薬剤や液体への耐性、防錆性、高耐久性、高強度 |
クリーンヒンジ
クリーン環境に対応した低発塵ヒンジを4種類展開、用途に応じてお選びいただけます。
| 平型タイプ | 標準的な形状のクリーンヒンジ。ほぼガタつきがなく扉の垂れを防止。 |
|---|---|
| 抜差タイプ | 扉の取り外しが容易なタイプ。保守作業を効率化。 |
| 裏蝶番タイプ | 扉の裏側へ取り付け、ヒンジが隠せるタイプ。デザイン重視の装置に。 |
| フリーストップヒンジ（トルクヒンジ）タイプ | 軸部にトルクを持たせ任意の角度で扉を静止出来る蝶番。メンテ時等の安全対策に。 |
防塵クリーンマグネットキャッチ
マグネット全体を樹脂で覆った、発塵抑制構造のマグネットキャッチです。ネオジムを採用、高い吸着力を有します。
ネジ止めタイプに加え、ワンタッチ取付けタイプをご用意。指定の穴に押し込むだけで組み立てが完了、ユーザーの組立工数削減に寄与します。色は黒と白の2色展開、装置やパネルの色に合わせお選びいただけます。
導電性スライドレール
特許取得の導電性板をスライドレール内側に装着した、静電気対策用のスライドレールです。SEMI規格で求められる電気抵抗値0.1Ω以下を安定して達成しています。配線作業の工数削減やボンディング線断線時の保険として装置の安全性確保に貢献します。
導電性裏蝶番
裏側からの取付けにより、装置デザインへ干渉しない隠しタイプのヒンジです。
トルクヒンジとトルクレスヒンジの2種+大小2種のサイズラインナップ。
導入の流れ
株式会社栃木屋について
事業内容
株式会社栃木屋は、ラッチ、蝶番、取手、ハンドル、鍵、アジャスター、キャスターなどを手掛けている機構部品メーカーです。企画、設計、開発、販売までを一貫して手がけ、幅広い分野のお客様に製品を提供しています。
半導体製造装置業界に向けた商品開発を専門とするチームを設置、大手メーカーとの共同開発を通じ、市場ニーズに応える製品を数多く開発しています。SEMI規格への適合やクリーン環境対応、帯電や静電気対策、高強度なキャスターなど、半導体製造装置に求められる技術要件に対応した製品ラインアップを展開しています。
品質・環境マネジメントではISO9001およびISO14001の認証を取得しており、大手メーカー各社のグリーン調達基準にも適合しています。
会社概要
| 企業名 | 株式会社栃木屋 |
|---|---|
| 所在地 | 〒101-0047 東京都千代田区内神田2丁目11番1号 |
| 設立年月 | 1949年4月 |
| URL | https://info.tochigiya.jp/ |