共焦点光学式非接触変位センサ confocalDTシリーズ

白色光（多色光）を特殊なレンズに通すことで、レンズの色収差を発生させます。光は波長ごとに分解され、短い波長（青）は手前に、長い波長（赤）は遠くに焦点を結びます。

測定対象物から反射され、最も強く焦点が合った光の波長をコントローラの分光器で検出。その波長に割り当てられた距離情報を基に、対象物までの距離を算出します。

共焦点式測定の特長

透明体の厚さ測定が可能	透明なガラスや多層膜の表面・裏面の情報を同時に取得できます。
材質や表面状態に 影響されにくい	対象物の材質や表面状態（鏡面、拡散面、光沢面）にほとんど影響を受けずに計測可能です。

計測対象

光沢のあるガラス・光学レンズ、フィルム、金属から、黒色のゴム、バッテリーの絶縁膜等様々なターゲットまでの距離測定に使用可能です。可視光を通す透明体に関してはマルチピーク測定により、同時に多層の厚さ測定も可能です。



半導体製造装置（ウェーハ検査、リソグラフィ工程）、ガラス産業（ディスプレイガラス、容器ガラスの厚さ・輪郭測定）、医療技術（透明チューブ、レンズ）、機械製造（3Dプリンタの距離制御）など、様々な分野で共焦点式の変位センサが活用されています。

高精度な厚さ測定

透明な材質の厚さをミクロン単位の高精度で測定します。独自の「厚さ校正機能」により、センサと対象物の距離が変動しても、厚さ測定の値は正確に保たれます。これにより、インラインでの品質管理においても、距離に依存しない正確な厚さ測定が可能です。また、マルチピーク測定に対応し、1台のセンサで最大5層までの多層対象物の厚さも評価できます。

真空環境下での計測に対応

光学部品のみで構成されるconfocalDTのセンサヘッドは、環境に熱を放出しません。真空環境下で使用に対応するために、クリーンルーム、真空、超高真空など各仕様に適した専用のセンサ、ケーブル、オプション品を揃えています。

コンパクトなセンサ設計

センサ設計は直径4mmの小型モデルからラインナップされており、限られた設置スペースへの組み込みが可能です。また、ビーム経路が90°のモデルも用意されており、所要設置スペースの奥行きを大幅に低減できます。

小さな対象物もピンポイントで計測

センサは高い開口数（NA）を備え、最小で3µm未満の極めて小さな測定スポット径を実現しています。この小さな焦点により、微細な構造や電子部品、ウェーハ上の隆起なども検出し、高精度な測定が可能です。スポットサイズは測定範囲全体にわたってほぼ一定に保たれます。

大きな測定角度で湾曲面を計測

confocalDTセンサは最大±48°の大きな測定角度（傾斜角度）に対応しています。これにより、湾曲面（レンズ、瓶、チューブなど）や、構造化された表面でも確実に検出し、安定した計測が可能です。

使いやすいWebインターフェース

コントローラおよびセンサの全ての設定は、追加のソフトウェアをインストールすることなく、Ethernet接続を介した使いやすいWebインターフェースによって行えます。厚さ測定用として、編集可能な材質データベースも保存されており、迅速な設定が可能です。また、無償の「sensorTOOL」ソフトウェアにより、他のMicro-Epsilon製センサ（変位計、温度計、色センサ等）と統合的に管理することも可能です。

豊富なラインナップとカスタマイズ性

スタンダードなセンサヘッドだけでも豊富にラインナップしており、多様な測定範囲や設置環境に対応します。さらに、フォームファクタの変更、取り付け部品オプション、各ケーブルの長さ、測定範囲の変更など、お客様のニーズに合わせたカスタマイズが可能です。

confocalDTシリーズは、センサとコントローラが一体になったコンパクトシステムから、用途に応じて自由に組み合わせ可能なセンサヘッド、コントローラまで、幅広い製品群を提供しています。

コンパクトシステム

IFD2410およびIFD2415は、センサとコントローラをIP65のコンパクトなハウジングに一体化したオールインワンモデルです。光ファイバケーブルが不要なため、ロボットへの搭載や測定機への組み込みなどに最適です。IFD2415は最大25kHzの高速測定と最大5層の多層厚さ測定に対応します。

IFD2411は、コンパクトなコントローラ一台と、1mm、2mm、3mm、6mmの測定範囲を備えて校正したセンサ一台がセットになった測定システムです。優れたコストパフォーマンスを誇り、量産用途に最適です。IP40の堅牢なアルミニウムハウジングとコンパクト設計により、既存設備への組み込みも容易です。

confocalDT IFD2410	次世代の共焦点式センサシステム
confocalDT IFD2415	クラス最高 – 次世代の共焦点式センサシステム
confocalDT IFD2411	コンパクトな共焦点式測定システム

センサヘッド

多様な測定タスクに対応するため、幅広いタイプのセンサをラインナップしています。直径わずか4mmの超小型モデルから、多目的で堅牢なタイプ、真空環境に対応したモデル、さらには数ナノメートルレベルの高分解能を実現する高精度モデルまで、多彩なバリエーションを用意。

測定範囲、スポット径、開口数、そして設置方向（軸方向／径方向）などの条件に合わせて、最適なセンサを選定できます。

confocalDT IFS2402	共焦点超小型センサヘッド 直径4mm
confocalDT IFS2403	共焦点小型センサヘッド 直径8mm
confocalDT IFS2404	共焦点小型安価センサヘッド 直径12mm
confocalDT IFS2405	共焦点標準センサヘッド 直径27～62mm
confocalDT IFS2406	共焦点特殊センサヘッド 直径20～62mm
confocalDT IFS2407	共焦点特殊センサヘッド 直径12～65mm

コントローラ

IFSシリーズのすべてのセンサタイプとの互換性を持つコントローラをご用意しています。IFC242xシリーズは最大10kHzの測定レートに対応する工業アプリケーション用の標準コントローラです。IFC246xシリーズは、より高速（最大30kHz）な測定レートと高い光強度を誇り、反射の少ない暗い表面や動的なプロセスの監視にも対応します。

どちらのシリーズも、距離測定および厚さ測定用の標準バージョンと、多層厚さ測定用のマルチピーク仕様をご用意しています。マルチピークモデルは、最大5層の透明層の厚さ測定に使用されます。

confocalDT IFC242x	標準共焦点コントローラ 1-2ch対応
confocalDT IFC246x	高輝度高速共焦点コントローラ 1-2ch対応
confocalDT IFC2411	小型共焦点コントローラ 1-2ch対応

ガラス産業

• ディスプレイガラスや板ガラスのインライン厚さ測定
• 容器ガラス（ボトル）の肉厚・真円度・底部輪郭の非接触検査
• 高温ガラスの測定

半導体・電子部品

• ウェーハの厚さ測定（TTV）、たわみ、ヒビ、隆起の検出
• リソグラフィ工程でのガラスマスクの位置決め
• スマートフォン筐体のインライン測定

光学

• メガネレンズやカメラレンズの輪郭・中心厚の測定
• カメラのオートフォーカスレンズ間の距離検出

FA・機械

• 3Dプリンタでの精密位置決め・距離制御
• 限られたスペース（ドリル穴など）の内部輪郭測定

事業内容

Micro-Epsilonは、50年以上にわたり、変位、距離、温度、色などを測定する高精度なセンサやシステムを開発・製造してきた産業用測定技術のパイオニアです。ドイツに本社を置き、世界中に拠点を展開。長年培ってきた精密測定技術と幅広い製品ラインナップで、半導体や光学をはじめとする様々な産業の品質向上と生産性向上に貢献しています。

会社概要

所在地	■大阪本社 大阪府吹田市江坂町1丁目23-43 ファサード江坂ビル4F ■東京オフィス 東京都千代田区内神田1-15-2 神田オーシャンビル2F
設立年月	2019年07月
URL	https://www.micro-epsilon.jp/