非破壊検査とは？ 検査の種類や特徴、おすすめの関連製品をご紹介します

非破壊検査とは、検査対象物を破壊することなく欠陥の有無を判定する検査手法を指します。 非破壊検査の種類には様々なものがあり、それぞれの検査手法によって特徴や適性があるため、検査したい対象物とその項目に沿って検討することが重要となります。 この記事では、非破壊検査の種類と特徴、おすすめ製品をご紹介します。

リアルタイム膜厚モニター「FR-ES」（ThetaMetrisis社／ギリシャ）

ThetaMetrisis（シータメトリシス）社 FR-ESの膜厚測定は反射率分光方式で、光を通す透明または半透明の膜層を測定できます。光学式のため、非破壊・非接触で出荷する実製品を傷つけることなく測定が可能です。 専用ソフトウェアは「横軸：時間、縦軸：膜厚」のグラフ表示で、膜厚の変動をビジュアルとして分かりやすくしています。また、フィルムの両端と中央の3箇所を測定することで幅方向の膜厚ムラを監視することができます。 カタログ・資料のダウンロードのほか、ご不明な点はお気軽にお問い合わせください。

狭小領域膜厚測定器「FR-μProbe」（ThetaMetrisis社／ギリシャ）

光学顕微鏡にFR-μProbe膜厚測定器を取り付けたシステムです。 発光ダイオード、フォトダイオードアレイなど、エッチング処理後の膜厚測定に顕微鏡の対物レンズを使用することで測定スポット径を小さくした膜厚測定が可能です。モニターを使って位置指定で測定することができるため、極小エリアでもストレスのない測定を実現できます。 対物レンズ50倍使用時のスポット径：φ10μm カタログ・資料のダウンロードのほか、ご不明な点はお気軽にお問い合わせください。

近赤外光ビームプロファイラ―　「VCProbe-NIR」 （ELDIM社／フランス）

3DセンシングにELDIM（エルディム）社のVCProbe-NIRシリーズは、非接触・高速・高精度での確実な測定を実現する近赤外光ビームプロファイラ―です。LiDAR、Structured Light、ToF、DOE、Diffuser、VCSEL、近赤外発光ダイオードなど、光学センシングを用いたモジュールの性能評価・品質管理にお使いいただける配光特性計測器です。カタログ・資料のダウンロードのほか、ご不明な点はお気軽にお問い合わせください。