省スペースで各種の計測目的に適したコストパフォーマンスに優れたモデル

コンパクトなシールドボックスの中には試料台、マイクロポジショナ、プローブ二ードル、信号用ケーブルを配置し、顕微鏡、除振台を標準装備しています。プローブに必要な構成品があらかじめ含まれていますので、新たにプロービング環境を構築する場合に比べて初期導入費用が安価で済みます。コンパクトサイズのため、様々な用途、省設置スペースでの使用が可能です。ホットチャック、各種先端径・材質のプローブなどのオプション品も豊富に用意していますので、プローブによる電気測定が初めての方から経験者の方まで幅広くご使用いただけるコストパフォーマンスに優れたプロービングシステムです。

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サンプル台に設置するだけで即座に測定結果が得られる測定レンジの広い非接触式のシート抵抗測定器

アメリカDELCOM instruments　の製品です。
DC渦電流方式の非接触型シート抵抗測定システムは、半導体/液晶基板、太陽電池セル、フレキシブル材料、各種導電性フィルム等の研究開発・検査工程・製造ラインにおいて、サンプルへの物理的損傷を与えず、他社に無い幅広い測定レンジにて高精度な測定を実現します。

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再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システム

アメリカFour Dimensions社の製品です。Si、化合物、SOI、SiC、バルクウェハといった様々なタイプのウェハ特性を測定できます。
ユーザが最大200箇所の測定サイトを指定し、C-V、I-V特性、TDDB、Vbd、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化膜厚、Low-k、High-k等のマッピング測定が可能なトータルシステムです。

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