水銀プローバCVmapシリーズ
再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システム
再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システム
アメリカFour Dimensions社の製品です。Si、化合物、SOI、SiC、バルクウェハといった様々なタイプのウェハ特性を測定できます。
ユーザが最大200箇所の測定サイトを指定し、C-V、I-V特性、TDDB、Vbd、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化膜厚、Low-k、High-k等のマッピング測定が可能なトータルシステムです。
特長
水銀自体が電極の役割となり、パターン形成が不要
CVmapは、水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システムです。水銀が電極の代わりになるため、コストや時間を要する電極形成が不要です。
独自のコンタクト方式は、非常に優れた再現性、安全性を実現します。SiC、GaN、Si-Epiなど、様々なタイプのウエハに対応。迅速にマッピング測定が行えます。
用途例
| 操作性に優れたセミオート機 |
Windowsベースの操作系とモータードライブされた制御系、測定部を内蔵したコンパクトな一体型のセミオート機です。 ユーザが最大200箇所の測定サイトを指定し、C-V、I-V特性、TDDB、Vbd、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化膜厚、Low-ｋ、High-k等のマッピング測定が可能なトータルシステムです。  |
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| 自動搬送対応のフルオート機 |
C to C (Cassette to Cassette)自動搬送に対応したモデルです。 2点からのプローブ方式を用いたC-V、I-V測定器です。ウェハは6、8、12インチのサイズに対応し,ウェハ全面を任意サイトで測定することができます｡等高線・3Dマップも作成できます。  |
| 手動操作に特化したマニュアル機 |
内部測定機能と自動マッピングソフトウェアを取り除いた、手動操作に特化したモデルです。 試料台の移動や水銀プローブのコンタクト操作は前面パネルのボタンで行います。試料台はモーターで動作する電動式で、ウェハサイズは1~8インチに対応しています。外部計測器と組み合わせてCV測定、IV測定ができます(測定には外部計測器が別途必要です）。オプションとして計測・解析用のソフトウェアを取り揃えています。  |