半導体製造に貢献するオーバル流量計

半導体製造プロセスに最適なオーバル流量計

従来の半導体製造では純水に近い流体の計測を行うケースが多く、そのような場合は高精度な流量計が求められることはほどんどありませんでした。しかし、日進月歩の半導体製造装置において、そこに付随する流量計へのニーズも多様化しています。

オーバルはコリオリ流量計をはじめとした高精度な計測を実現する流量計から、コストパフォーマンスの高い汎用性のある流量計まで様々なラインナップを有しており、半導体製造装置メーカー様からの多様なニーズに対応することができます。

流量計とシステムソリューションのオーバル

私たちが住む産業社会は、かつてない変革の波に揺れ動いています。こうした社会環境の中で、これまで培ってまいりました経営資源と、社会的信用を基盤とし、「流量計及び関連機器、システムの産業メーカー」として、常にお客様にご満足いただける独自の製品を提供し得る企業としての自負と理想を高く掲げ、努力を続けていく決意であります。

今、時代は、企業に対して、地球規模のエコロジーへのアプローチと、社会への貢献を求めています。このことはまた、計測、制御技術に課された役割が一段と重さを増す時代の到来を示しています。

こうした認識のもと、当社は、品質システムに関する国際規格ISO9001及び環境マネジメントシステム規格のISO14001の認証取得企業、計量法校正事業者登録制度（JCSS）の登録取得企業として一層の努力を重ね、ユーザー各位の価値創出に貢献すべく、挑戦を続けてまいります。

半導体製造に貢献するオーバル流量計　ラインナップ

コリオリ流量計

ALTImassⅡ TypeU（高精度形）

最適化、統一化設計にもとづく究極のU字形フローチューブ

標準的な流量計測に加え、微少流量計測、短時間充填などの用途においても高精度に質量流量を計測できる高機能形コリオリ流量計です。高機能変換器（自己診断機能、大画面表示、タッチ操作による現場での設定変更が可能）を搭載し、パラメータバックアップ機能により変換器交換が容易に行えます。半導体製造装置をはじめ、装置搭載への実績も多数あります。

ALTImassⅡ TypeS（単一直管形）

耐振性をクリアーしたシングルストレートチューブ

付着・固着しやすい液体の計量や、液の置き換えライン洗浄・配管内の液抜きなど、素早く確実に行う必要のあるクリーンプロセスに最適です。半導体製造装置をはじめ、装置搭載への実績も多数あります。

Cori MateⅡ

非防爆仕様限定ですが、表示器を一体化したコンパクトで使いやすいコリオリ流量計です。廉価でありながら高精度な微少の流量計測が可能です。

容積流量計

フローメイト・スーパーマイクロフローメイト

フローメイト

燃焼器や暖房器の燃料消費計としての用途をはじめ、各種液体の少流量計測に最適なパルス発信器を内蔵した小形の容積流量計です。水、純水専用の 38 形（樹脂製）も加わり、より微少流量への幅を広げました。

スーパーマイクロフローメイト

家庭用燃料電池やファインセラミックス焼成工程、実験、添加用途などの極微少流量計測に最適な、パルス発信器を内蔵した小形の容積流量計です。

渦流量計

Eggs DELTA Ⅱ

Eggs DELTAⅡは、液体または気体に使用できる廉価形のカルマン渦式フローモニターです。エネルギー流体の消費量管理や各種装置に搭載しての流量監視等、末端ラインにおける流量管理用として最適です。表示部の無い出力専用形の「Eggs DELTA Pulse」を別途ラインアップしています。

Eggs DELTA Pulse

Eggs DELTA Pulseは、パルス出力専用形とし、価格を下げた、渦式フローモニターです。エネルギー流体の消費量管理や各種装置に搭載しての流量監視等、末端ラインにおける流量管理用として最適です。さらに、バリアユニットを結合した本質安全防爆仕様をラインアップしており、防爆エリアでも使用可能です。

半導体製造に貢献するオーバル流量計事例・用途例

半導体製造における「チップ切出」の粉塵防止対策として	ウエハーから半導体チップを切り出す際、チップに残る粉塵を抑えるために粉塵防止剤を吹き付ける工程があります。この防止剤の適切な流量調整・管理を行うために、オーバルの流量計を活用いただいています。粉塵防止剤の計測において重要なのは、流量ではなく流速（粉塵防止剤）の計測です。つまり、リアルタイムによる素早い応答性を発揮できる流量計が求められます。オーバルのフローメイトは応答性に優れているため、粉塵防止剤の流量調整・管理に多くの採用実績があります。
半導体洗浄装置で用いられる「超臨界流体」の流量計測として	半導体集積回路の微細化に伴い、回路パターンを形成する構造体の強度が弱まっている傾向にあります。そのため、従来使われてきた純水などの洗浄液では、洗浄・乾燥時に生じる流体の表面張力によりパターンが崩壊してしまうリスクがあります。このようなパターンの崩壊という課題に対しては、表面張力がほぼゼロである超臨界流体の活用が有効です。温度・圧力・安全性等の実用的な観点から、超臨界流体として超臨界二酸化炭素（CO2）の適用事例が最も多い現状にあります。オーバルのコリオリ流量計は、超臨界流体の流量計測に求められる高い精度基準をクリアしており、最新の半導体洗浄装置で用いられる超臨界流体の流量計として採用されています。

半導体製造における「チップ切出」の粉塵防止対策として

ウエハーから半導体チップを切り出す際、チップに残る粉塵を抑えるために粉塵防止剤を吹き付ける工程があります。この防止剤の適切な流量調整・管理を行うために、オーバルの流量計を活用いただいています。

粉塵防止剤の計測において重要なのは、流量ではなく流速（粉塵防止剤）の計測です。つまり、リアルタイムによる素早い応答性を発揮できる流量計が求められます。

オーバルのフローメイトは応答性に優れているため、粉塵防止剤の流量調整・管理に多くの採用実績があります。

半導体洗浄装置で用いられる「超臨界流体」の流量計測として

半導体集積回路の微細化に伴い、回路パターンを形成する構造体の強度が弱まっている傾向にあります。そのため、従来使われてきた純水などの洗浄液では、洗浄・乾燥時に生じる流体の表面張力によりパターンが崩壊してしまうリスクがあります。

このようなパターンの崩壊という課題に対しては、表面張力がほぼゼロである超臨界流体の活用が有効です。温度・圧力・安全性等の実用的な観点から、超臨界流体として超臨界二酸化炭素（CO2）の適用事例が最も多い現状にあります。

オーバルのコリオリ流量計は、超臨界流体の流量計測に求められる高い精度基準をクリアしており、最新の半導体洗浄装置で用いられる超臨界流体の流量計として採用されています。

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会社概要

出展団体名	株式会社オーバル
所在地	〒161-8508 東京都新宿区上落合3-10-8
創業	昭和24年（1949年）5月10日
従業員数	688名（連結）
URL	https://www.oval.co.jp/