半導体製造に貢献するオーバル流量計

ウエハーから半導体チップを切り出す際、チップに残る粉塵を抑えるために粉塵防止剤を吹き付ける工程があります。この防止剤の適切な流量調整・管理を行うために、オーバルの流量計を活用いただいています。

粉塵防止剤の計測において重要なのは、流量ではなく流速（粉塵防止剤）の計測です。つまり、リアルタイムによる素早い応答性を発揮できる流量計が求められます。

オーバルのフローメイトは応答性に優れているため、粉塵防止剤の流量調整・管理に多くの採用実績があります。

半導体集積回路の微細化に伴い、回路パターンを形成する構造体の強度が弱まっている傾向にあります。そのため、従来使われてきた純水などの洗浄液では、洗浄・乾燥時に生じる流体の表面張力によりパターンが崩壊してしまうリスクがあります。

このようなパターンの崩壊という課題に対しては、表面張力がほぼゼロである超臨界流体の活用が有効です。温度・圧力・安全性等の実用的な観点から、超臨界流体として超臨界二酸化炭素（CO2）の適用事例が最も多い現状にあります。

オーバルのコリオリ流量計は、超臨界流体の流量計測に求められる高い精度基準をクリアしており、最新の半導体洗浄装置で用いられる超臨界流体の流量計として採用されています。