特長

センサユニットを交換することで、１台で様々な半導体材料ガスを検知可能

ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、１台で様々な半導体材料ガスを検知可能。センサユニットはカセット式で、交換も簡単。

カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時間とコストを削減。

エッチングガスで幅広く使用されるNF3に対応

NF3検知に対応したポータブルタイプ吸引式ガス検知器としては世界最小サイズで、重さわずか1.3kgの小型・軽量タイプ。

アラーム音のスピードで濃度変化をお知らせ

ガス濃度の変化により、警報音（断続音）のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。

用途例

半導体製造現場で

半導体工場等の毒性ガスを使用する現場で、ガス漏洩検査や濃度測定に最適。