狭小領域膜厚測定器「FR-μProbe」(ThetaMetrisis社/ギリシャ)

狭小領域膜厚測定器「FR-μProbe」(ThetaMetrisis社/ギリシャ)
微細パターニング形成後の狭小エリアの非接触膜厚測定に最適!
光学顕微鏡にFR-μProbe膜厚測定器を取り付けたシステムです。

発光ダイオード、フォトダイオードアレイなど、エッチング処理後の膜厚測定に顕微鏡の対物レンズを使用することで測定スポット径を小さくした膜厚測定が可能です。モニターを使って位置指定で測定することができるため、極小エリアでもストレスのない測定を実現できます。
対物レンズ50倍使用時のスポット径:φ10μm

カタログ・資料のダウンロードのほか、ご不明な点はお気軽にお問い合わせください。

特長

エッチングなどパターニング形成後の微小・微細なエリアをピンポイントで膜厚測定
【ThetaMetrisis社 FR-μProbe】

顕微鏡取り付けアダプタにUSBカメラを標準搭載。狭小部でも顕微鏡の接眼レンズを使用せず、モニターに表示することが可能なため測定位置決めが容易にできます。また測定した箇所を画像で記録し保存できます。

用途例

  • 発光ダイオードやフォトダイオードアレイなどパターニング形成後の酸化膜、レジスト膜の狭小部の膜厚測定
  • レジストの残渣厚測定
  • カラーフィルタRGBの顕微分光透過率の測定
用途・特徴
  • 厚さ数十ナノメートルから数十ミクロンレンジの膜厚測定を得意とする膜厚計です。ボタン1つで瞬時に結果が判ります。
  • 単層のみならず複層構造の各々の層を同時測定できます。(サンプルの構成や各層の光学特性により異なります。)
  • 膜厚測定のみならず、屈折率や消衰係数の光学定数解析が可能です。温度調整ステージがオプションにあり薄膜に対して温度を変えあげることで膜厚の温度依存をリアルタイムでモニタリングできます。
測定膜種例
  • 半導体関連膜(ポリシリコン、アモルファスシリコン、フォトレジスト、酸化膜、窒化膜、Low-k材料、など)
  • ディスプレイ関連膜(アモルファスシリコン、フォトレジスト、カラーレジスト、ITO、ポリイミド、反射防止コーティング、ハードコーティング、など)
  • 機能性フィルム(包装フィルム、離形処理層、易接着層、粘着膜、有機膜、無機膜、フッ素コーティング、PETフィルムなどの原反厚さなど)
  • 自動車(外板クリア膜、インテリアパネルクリア膜、潤滑油(バルブリフター、ショックアブソーバ)、ガラス中間膜、撥水・浸水コーティングなど)
  • その他(DLC、TiO2光触媒膜、各クリア塗装、など)
FR-pOrtableとの違い

■FR-pRoはファイバーケーブル方式、FR-pOrtableではファイバーケーブルではありません。
 FR-pRoはファイバーケーブルなので量産ラインでの狭いところにおける設置やそのほかの応用が容易です。
 また、豊富な分光器をラインナップしておりUVやNIRの分光測定を必要とする膜厚測定に有用です。

■FR-pRoではラインナップごとに設定された分光波長範囲を選ぶことによって次のような難度の高い膜厚の測定が可能です。

  • フィルム上に成膜した数十nmの極薄膜
  • 吸収特性のない黒い薄膜の厚さ測定
  • 100μmを超える厚い膜の測定
  • Si基板やガラス基板の厚さ測定
  • 光学定数波長依存性

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