狭小領域膜厚測定器「FR-μProbe」（ThetaMetrisis社／ギリシャ）

• 厚さ数十ナノメートルから数十ミクロンレンジの膜厚測定を得意とする膜厚計です。ボタン１つで瞬時に結果が判ります。
• 単層のみならず複層構造の各々の層を同時測定できます。（サンプルの構成や各層の光学特性により異なります。）
• 膜厚測定のみならず、屈折率や消衰係数の光学定数解析が可能です。温度調整ステージがオプションにあり薄膜に対して温度を変えあげることで膜厚の温度依存をリアルタイムでモニタリングできます。

• 半導体関連膜（ポリシリコン、アモルファスシリコン、フォトレジスト、酸化膜、窒化膜、Low-k材料、など）
• ディスプレイ関連膜（アモルファスシリコン、フォトレジスト、カラーレジスト、ITO、ポリイミド、反射防止コーティング、ハードコーティング、など）
• 機能性フィルム（包装フィルム、離形処理層、易接着層、粘着膜、有機膜、無機膜、フッ素コーティング、PETフィルムなどの原反厚さなど）
• 自動車（外板クリア膜、インテリアパネルクリア膜、潤滑油(バルブリフター、ショックアブソーバ)、ガラス中間膜、撥水・浸水コーティングなど）
• その他（DLC、TiO2光触媒膜、各クリア塗装、など）

■FR-pRoはファイバーケーブル方式、FR-pOrtableではファイバーケーブルではありません。
　FR-pRoはファイバーケーブルなので量産ラインでの狭いところにおける設置やそのほかの応用が容易です。
　また、豊富な分光器をラインナップしておりUVやNIRの分光測定を必要とする膜厚測定に有用です。

■FR-pRoではラインナップごとに設定された分光波長範囲を選ぶことによって次のような難度の高い膜厚の測定が可能です。

• フィルム上に成膜した数十nmの極薄膜
• 吸収特性のない黒い薄膜の厚さ測定
• 100μmを超える厚い膜の測定
• Si基板やガラス基板の厚さ測定
• 光学定数波長依存性