半導体・電子部品展
流量コントロールシステム FC6000
変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現
東京計装株式会社
流量コントロールシステム FC6000
PFA製UCUF形高精度超音波流量計、FCV形コントロール弁および超音波流量計用変換器搭載のFCA6000形コントローラで構成される分離形の流量コントローラです。超音波流量計検出器およびコントロール弁の選択により、広範囲の流量制御が可能です。純水、超純水、各種薬液、CMPスラリーなどの流量制御にご使用いただけます。
流量コントロールシステム FC6000 詳細
特長
変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現
- 耐気泡性能、流量計測安定性の向上
- 広範囲の流量制御が可能
- 低消費電力
- 接液部は耐食性の高いPFAおよびPTFEを採用
用途例
変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現
半導体製造装置、薬液装置組み込み用に好適
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「FC6000」資料
変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現
流量範囲：最小2.5～25mL/min
最大1～10L/min
流体温度：5～50℃
流体圧力：0.3MPa max.
精度 ：指示値の±1％
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東京計装株式会社
''はかる技術''で地球の未来に貢献
東京計装では創業67年の経験と実績を重ね、国内・海外でさまざまな流量計測・レベル計測機器製品群および計測ソリューションをご使用いただいております。
出展団体情報
| 出展団体名 | 東京計装株式会社 |
|---|---|
| 所在地 | 〒105-8558 東京都 港区 芝公園1-7-24 芝東宝ビル |
| 設立年月 | 1954年11月 |
| 従業員規模 | 501名以上 |
| URL | https://www.tokyokeiso.co.jp |