パーティクルカウンター(微粒子計測器)とは?原理や種類・選び方をまとめて解説

パーティクルカウンター(微粒子計測器)とは?原理や種類・選び方をまとめて解説

パーティクルカウンター(微粒子計測器)とは、液体中・空気中の不純物や、ダストなどの大きさと数を測定するための計測器です。半導体や精密機器を製造するためのクリーンルーム、病院の手術室などで主に使用されています。

この記事では、パーティクルカウンターの原理や、選び方などを詳しくご紹介します。