分光器・分光ソリューション | 島津製作所

分光器・分光ソリューション

島津製作所 デバイス部の事業内容

島津製作所デバイス部では、光分析、レーザ加工機/発振器、光通信、医療・診断、食品分析など、さまざまな分野に適用可能な光学製品を自社開発しています。

「分光」に関するお悩みに幅広く対応

自社開発を通して培った豊富な知識と技術により、現在では分光器本体の開発・販売だけでなく、お客様のご要望に応じた分光ソリューションをご提案しております。素子の選定から光学配置設計、組み込み分光器のご提案まで、分光器周りは島津製作所にお任せください。

分光素子（回折格子）

豊富なラインアップから最適な製品を提案

島津製作所は、紫外・可視・赤外・X線などさまざまな種類の光に応じた回折格子を展開しております。独自の製造技術により、ノイズを抑えた光を効率よく検出できるため、高精度な光学系を構築可能です。

カスタマイズにも柔軟に対応

豊富なラインアップを取り揃えておりますが、仮に標準品が合わない場合でも、お客様のご要望に合わせて特注品の製作を承ります。
回折格子について詳しく見る

分光配置設計（光学配置設計）

「分光器を設計したいが、光学設計に困っている」というお客様のために、島津製作所が解決策を一緒に考えます。

たとえば、光源の入射スリット位置を基に、目的に合った回折格子や設置角度などをご提案いたします。光学配置を含め十分に納得いただいたうえで、試作評価へと進むことができます。

組み込み分光器

モノクロメータ式 / ポリクロメータ式の組み込み分光器を提供可能です。お客様のご要望をお伺いし、適切な分光器をご提案します。

モノクロメータ式 組み込み分光器

モノクロメータ式 組み込み分光器の採用事例：膜厚モニタ

基板に真空蒸着を行う際の光強度をモニタリングすることで、基板上に生成した薄膜の膜厚を計測できます。所定の膜厚に達した場合、自動で蒸着が終了するよう、蒸着工程を管理することが可能です。

ポリクロメータ式 組み込み分光器

ポリクロメータ式 組み込み分光器の採用事例：プラズマ発光モニタ

半導体製造のエッチング工程において、プラズマの発光状態をモニターするためにポリクロメータが使用されています。特定波長の輝度変化を捉えることで、エッチングの終点を検出するエンドポイントモニターとして機能します。

分光ソリューションご提案の流れ

「光を使用して何を分析したいか」などお客様のご要望をお伺いした上で、最適なソリューションを提案いたします。設計や課題が明確になっていない段階でも、お気軽にお問い合わせください。