蛍光Ｘ線式膜厚測定・素材分析器
薄膜や多層膜の厚み測定や組成分析に
薄膜や多層膜の厚み測定や組成分析に
非常に薄い皮膜の膜厚測定と微量成分分析に優れており、低いエネルギーレベルのX線にも感度が高いため、原子番号の低い元素のリンやアルミニウムなどの分析も可能です。
長時間連続測定に対応しており、長期間において安定性を持つ極めて堅牢な構造となっています。
会社案内
特徴
非破壊で膜厚測定および素材分析するのに理想的な測定器
電子部品、電気メッキ、自動車、宝飾業界など幅広い産業において、品質管理や受入検査に適しています。
微小構造の膜厚測定および素材分析に
測定スポットサイズ最小Φ約10 µm（オプション）により微細構造の測定に対応
用途例
| 品質管理や製造ラインでの監視 | 薄膜の厚さ測定（例）0.1 µmのAuやPd、電子・半導体産業における機能膜の測定、RoHSやWEEEの規制に対応したトレース分析、金や貴金属の高精度測定、自動化した測定など |
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