半導体ウエハー研磨用サポート基板

半導体ウエハー研磨用サポート基板
半導体ウエハー研磨用サポート基板の加工を承ります。
3種類の基板ラインナップがあります。
・ホウケイ酸ガラス
・無アクリル

加工基板

以下3種類の基板ラインナップがあります。
・ホウケイ酸ガラス
・無アクリルガラス
・石英ガラス

3種類の基板ラインナップ

加工サイズ

・矩形最大 370×470mm
・円形最大 φ300mm
※最小サイズは、ご相談ください。10mm角でも加工方法により可能です。

厚み精度

・TTV≦1μm が可能です。

厚み精度

加工数量

・試作開発時は1枚から加工させて頂けます。
・量産対応も可能です。

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