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6-Dナノプレシジョン ALIO ヘキサポッド ステージ
オーテックス株式会社
±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッドをリリース！360°回転も可能！Patented 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ
ALIO Industries社のパテントテクノロジー。パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド "Hybrid Hexapod"。その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。
従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という、大きなアドバンテージを持ち、精密加工・精密アライメント等のアプリケーションで全く新しいシステムデザインを可能にしております。
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6-Dナノプレシジョン ALIO ヘキサポッド ステージ 詳細
特長
長ストロークのパラレルキネマティック
技術的にはメーターストロークのXYが可能(スタンダードでも400㎜)。
Z: <205mm, Θx, θy:<40°, θz: 360°のストロークを誇るTrue nanoステージ。組み合わせで小型タイプから大型タイプまでラインナップ。
ユーザーフレンドリーなコントローラーメソッド
キネマティックな演算をコントローラーに埋め込んでいる為、ユーザーは座標制御でコントロールが可能。起動中に回転軸(TCP)をソフトウエアから任意の座標に設定可能、これにより動作を止めることなく、自由度の高い動作が可能。
様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。
ALIO Industries社の提供する400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。それにより、6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。
用途例
| フェムト秒レーザー加工におけるアクティブテーパーアングルコントロール | ALIO社のハイブリッドヘキサポッドを採用することで、広い範囲でのテーパー角度の制御ができ、長いZ軸ストロークによって、焦点操作の柔軟性が得られ、厚みのある基盤の高アスペクト比の加工に最適である。 |
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オーテックス株式会社
より新しい技術 より新しく確かな製品を より早くお届けします
”光”は魅力的です。
オーテックスは創立以来、レーザーとその周辺機器など、一貫して光に関係する製品を取り扱ってきました。日進月歩の光技術の発展は驚くべきもので、応用の可能性が広がっています。
当社はそのような世界の最先端のレーザー及び関連技術情報を日本のお客様にどこよりも早くお届けして参りました。産業分野、理化学研究分野、医療分野など様々な分野のご用途に最適で革新的な製品情報をこれからもご提供して参ります。また、当社テクニカルセンターにおいて、レーザー機器から小さな光学部品に至るまで、全数製品検査を行いお客様が安心して製品をお使いいただけるように体制を整えております。
幅広い製品群を取り揃えておりますので、お探しのものがある際はお声がけ頂くことを心よりお待ち申し上げます。
出展団体情報
| 出展団体名 | オーテックス株式会社 |
|---|---|
| 所在地 | 〒162-0067東京都新宿区富久町16-5新宿高砂ビル |
| 設立年月 | 1987年01月 |
| 従業員規模 | 11名-50名 |
| URL | https://www.autex-inc.co.jp/ |